이미지센서의 TSV세정시 측벽에 CF계 Deposit문제가 자두 대두 된다.
더구나 아래 그림처럼 하부에 Metal계 + CF계 Depo가 혼재되어 있을경우 제거하기가 매우 어렵다.
그래서 현재는 Depo가 쌓이지 않도록 상당히 복잡한프로세스로 문제를 피하고 있는것으로 알고있다.
이문제는 일반적인 세정액으로는 제거하기가 힘들다.
쓰리엠의 불소세정액 Novec HFE-7200으로 이런문제를 간단히 해결할수 있다.
낮은표면에너지는 좁고 깊은 홀에 쉽게 침투하여 충분히 흘리면 잔유물없이 완벽하게 제거가 가능하다.
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