FC-3283, 갈덴용액, 브라인(Brine), Coolant

모두 같은물질의 각각 다른 상표명 입니다.

반도체공정 메인장비나 기타 장비의 열관리를 하는데 필요한 Coolants를 일컷는 단어들 입니다.

Coolant의 종류에는 크게 3가지가 있습니다.

장점과 단점을 간단히 요약해 보았습니다

1.     물(D/I Water)

●  보통은 증류수라고 부르고, 물을 여러형태의 튜브나 관을 통해 일정온도로 유지 시키는 목적으로 사용합니다.

●  물의 장점은 값이 쌉니다. 구하기가 쉽습니다.

●  단점은 영하의 온도에서는 사용이 불가능 합니다.

●  쉽게 세균번식이 되며, 물때가 생깁니다 따라서 주기적으로 장비를 멈추고 크리닝을 해주어야만 합니다.

2.     E/G(Ethylen Grycol)

●  장점은 영하의 온도에서 사용이 가능합니다. 물의 단점을 보완하기위한 제품입니다. 그러나 너무낮은(약 -10 C) 온도에서는 사용이 불가 합니다

●  단점은 액의 성질이 물보다 나쁩니다. (열전도도, 증발잠열, 비열등 기타 여러가지…)

●  역시 오래 사용하면 관에 부식이나 스케일이 생기며, 여러 부작용이 생깁니다.

3.     FC-3283 (불소용액, 갈덴용액)

●  장점은 사용온도의 폭이 대단히 넓습니다 ( -100 C ~ + 200 C 이상)

●  이 액의 최대 장점은 비저항 입니다 10^15(오옴cm).

●  비열이 물에 비해 1/4정도로 낮으나, 밀도가 물에 비해 2배이므로 실제 비열(specific heat)은 물의 절반정도에 해당합니다

  

●  액의 변화가 없습니다. 한번 채우면 기계가 망가질 때까지 액만 채우면 됩니다. 따라서 라인을 세우므로 해서 생산의 손실이 없습니다.

●  액의 모든 특성이 물보다 뛰어 납니다.

●  단점은 액이 비쌉니다.

보통 칠러 (Chiller)라고 불리는 열관리장비에는 이러한 Coolant를 이용하여 대상물의 온도관리를 하게 됩니다. 따라서 산업분야에 맞게 적절한 브라인을 선택하셔야 최대의 효과를 얻게 됩니다.